工作原理：
动态气体校准仪主要由质量流量控制器、臭氧发生器、电源、管阀件、控制板及软件组成。
质量流量控制器用于精确控制零气和标气流量，零气控制采用大流量控制器（10slpm），标气采用小流量控制器（100sccm）。气体输出后通过混合室进行混合，达到所设定控制的浓度。
内置的臭氧发生器是由零气经紫外线照射而生成的，通过改变紫外线光强或零气的流量来控制臭氧发生的浓度
功能特性：
技术成熟可靠
核心部件均为原装进口
配比精度高，响应时间段
模块化设计
HMI触摸屏，操作简便
内置MFC标定校准程序
技术特性：
质量流量计准确度：＜1%F.S
质量流量计重复性：＜0.25%F.S
零气流量：10sl/min
标气流量：100sml/min
标气入口：3通道
臭氧发生器输出浓度：5ppm/1slpm
操作温度：0-45摄氏度
最大稀释比：1000:1
响应时间：60s
电源：220VAC@50Hz
尺寸：440mm（宽）*178mm（高*420mm（深）（参考）
标准配置：主机一套、电源线一根、说明书一份